封裝廠製程流程介紹如下: Material IQC:Material Input Quality Control,晶圓進料檢驗。
Lapping:晶片研磨(薄形研削),晶片研磨後,晶片背面受到研磨破壞應力影響,會使晶片發生彎曲(Wafer Warpage)現象。
Wafer Mount:晶圓貼上框架。
Dicing Saw:晶圓切割機,將晶圓切割成一片一片的晶片。
Die Bond:簡稱DB,上片(使用原物料銀膠與導線架),將晶片貼合上導線架,再進烤箱烘烤。
Wire Bond:簡稱WB,銲線(使用原物料金線),將晶片與導線架連接,在半導體封裝廠中製程中最容易發生變異的階段。
Molding:模壓(使用原物料樹),用樹脂將銲線完成的部份包合起來,只留下外導腳的部份。
Marking:印字,分為正印與背印。
Post Mold Cure:簡稱PMC,長烤。
Substrate(基版),BGA製程。Ball Placement:植球。Singulation:簡稱SG,切單。
Lead Frame(導線架),QFP、TSOP等等導線架的製程。Dejunk Trim:簡稱DT,去渣去結,剪切不要的導線架。Solder Plating:簡稱SP,電鍍,在外導腳的部份電鍍。Forming Singulation:簡稱FS,彎腳成型,將外導腳彎曲。
Final Visual:簡稱FV,合檢,最後一站的外觀總檢查。
Packing:包裝出口。
資料來源:本研究整理(59615071劉雅君專題報告) (我快被專題給搞瘋啦!!!)
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